СКАНИРУЮЩИЙ ТУННЕЛЬНЫЙ МИКРОСКОП - ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ СРЕДСТВО НАНОЭЛЕКТРОНИКИ

С. А. Бычихин, М. О. Галлямов, В. В. Потемкин, А. В. Степанов, И. В. Яминский

Рассмотрены преимущества применения сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) для точных измерений при решении задач нанотехнологии. Описаны результаты измерения шумов СТМ и показано, что основное ограничение пространственного разрешения по нормали к исследуемой поверхности образца обусловлено низкочастотными флуктуациями туннельного тока. Определена предельная чувствительность СТМ.

Измерительная техника (1998), №4, сс. 58-61.