КОЛИЧЕСТВЕННЫЕ МЕТОДИКИ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ИСТИННЫХ ТОПОГРАФИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ОБЪЕКТОВ ПО ИЗМЕРЕННЫМ АСМ-ИЗОБРАЖЕНИЯМ

1. Kонтактные деформации зонда и образца

М. О. Галлямов, И. В. Яминский

Сделано предположение, что эффект занижения высот объектов исследования АСМ обусловлен контактными деформациями. Для количественного описания эффекта применено решение контактной задачи Герца. Построено общее численное решение задачи, а также, для случая цилиндрического образца, найдены приближенные аналитические решения, справедливые при определенных соотношениях параметров геометрии контакта. Обнаружено, что найденные решения хорошо согласуются с экспериментальными результатами. Разработанный подход позволил определить упругие параметры отдельного микрообъекта, адсорбированного на поверхность твердой подложки.

Материалы Всероссийского совещания "Зондовая микроскопия-99". Нижний Новгород, март 1999. сс. 357-364