Закладка Plane

Здесь задаются параметры сканирования, относящиеся к сканированию поверхности Z(X,Y). Сканирование может происходить в нескольких режимах. Режим задается в выпадающем списке, расположенном в верхней части закладки.В зависимости от выбранного режима появляются одна или несколько подзакладок, первая из которых содержит общие параметры сканирования поверхности, а остальные - параметры, специфичные для выбранного режима сканирования.

На подзакладке Common задаются следующие величины:

• Xo, Yo, Size X, Size Y - координаты нижнего левого угла окна сканирования и его размеры (рис. 2.7). Все они передаются в сервер только при начале сканирования, и во время сканирования не изменяются. Чтобы ввести новые значения, нужно остановить сканирование и запустить его снова. При изменении этих параметров размеры окна имеют больший приоритет, и в том случае, когда размеры задаются довольно большими, координаты нижнего левого угла автоматически уменьшаются.

  Программа ''FemtoScan`` автоматически следит за тем, чтобы окно сканирования не выходило за динамический диапазон сканера. Точка с координатами (0,0) является центром окна сканирования максимального размера. При выборе этого окна значения Xo и Yo автоматически примут минимальные значения.

• Steps/lines -- число точек в строке и число строк в изображении. Это поле недоступно для непосредственного изменения. Для изменения числа точек в строке отведено поле Samples N на закладке Common, а число строк рассчитывается исходя из соотношения параметров Size X и Size Y.

  Рисунок: Размеры окна сканирования.

  

• кнопка lock - фиксирует соотношение сторон (величина Steps/Lines) окна сканирования. Параметры Size X и Size Y при нажатой кнопке lock будут изменяться одновременно так, что соотношение сторон будет оставаться постоянным.
• Scan -- направление быстрого сканирования (строчной развертки).
• Disable vertical sweep -- отключение вертикальной развертки. При отключенной вертикальной развертке движение по медленной оси не происходит, хотя в окне сканирования строка будет продолжать двигаться. При этом все кадры будут рисоваться в одном направлении медленной развертки.
• N scans -- указывает сколько раз сканировать поверхность. Если в поле записано слово continuous, то сканирование будет продолжаться, пока Вы сами его не остановите.

В двух рамках -- 1st image и 2nd image -- сгруппированы параметры для первого и второго изображений, относящихся к одному и тому же проходу поверхности. Внутри обеих рамок доступны почти одинаковые параметры.

• Выпадающий список, состоящий из Height, Deflection, Friction и других типов данных (в рамке 2nd image кроме того еще есть None) -- задает, что будет записано в изображении. Height -- высота поверхности, равная с точностью до знака отклонению столика. Deflection -- отклонение сигнала от опорного значения. Friction -- сигнал горизонтального отклонения луча лазера со светодиода (AFM, RAFM). Intensity -- суммарный сигнал со светодиода (AFM, RAFM). Phase -- сигнал с фазового детектора (RAFM). Channel 4,5,6,7 -- дополнительные каналы данных. None -- ничего. Если на сервере включена возможность снятия данных с дополнительного устройства, подключенного к COM-порту, то в списке так же появится тип данных Auxiliary.
• Retrace -- изображение будет содержать данные, полученные при проходе строки в обратном направлении.

Помимо этих параметров, на закладке Common в зависимости от выбранного режима сканирования могут появляться еще несколько параметров. В данной версии программного обеспечения реализованы следующие режимы сканирования поверхности:

• Topography - обычный режим сканирования поверхности.
• Dualtrace - режим сканирования поверхности с повторным проходом строки. Параметры обратной связи берутся с закладки Dualtrace. На закладке Common появляются две дополнительных метки "2nd trace" - по одной для каждого изображения - позволяющие выводить на изображение результат повторного прохода строки.
• Interleave - режим сканирования с повторным проходом строки по профилю, снятому при первом проходе строки, плюс смещение, задаваемое на закладке Interleave. Отрицательное смещение соответствует удалению зонда от поверхности. На закладке Common появляются две дополнительных метки "Interleave" - по одной для каждого изображения - позволяющие выводить на изображение результат повторного прохода строки.
• Lift - режим сканирования с повторным проходом кадра. Сканирование поверхности проходит в два этапа. На первом этапе сканируется выбранное поле с регистрацией высоты поверхности в прямом и обратном направлении прохождения строки (Height/Trace и Height/Retrace). На втором этапе зонд движется по плоскости, соответствующей среднему наклону поверхности, вычисленной методом наименьших квадратов на основе данных первого этапа, плюс смещение, задаваемое на закладке Lift. Отрицательное смещение соответствует удалению зонда от поверхности.
• Litography - режим литографии. Литография может выполняться в двух режимах - литография зондом (Z) и литография напряжением (Ut). На закладке Litography выбираются изображение-маска, режим литографии и параметры воздействия на поверхность. При нажатии на кнопку Select появляется окно выбора изображения-маски (рис. 2.8). Если размеры маски не совпадают с размерами сканируемой области (в точках), то возможны три варианта - 1) будет изменено разрешение маски, 2) центры маски и области сканирования будут совмещены, 3) размеры области сканирования будут подогнаны к размеру маски.

  В режиме Z сканирование идет в два этапа. На первом этапе снимается профиль поверхности (Height) в прямом (Trace) и обратном (Retrace) направлении. На втором этапе вычисляется плоскость среднего наклона поверхности, к ней добавляется промасштабированная от 0 до Z scale маска со смещением Z offset, и зонд идет по полученной поверхности. В режиме Ut во время сканирования поверхности на ЦАП Ut выдается профиль строки, взятый из маски изображения. Маска масштабируется по оси Z так, чтобы размах значений был от 0 до Ut scale и сдвигается на Ut offset.

Рисунок: Выбор маски литографии